高纯水设备的技术发展主要经历：
1、阴、阳离子交换器＋混合离子交换器；
2、反渗透＋混合离子交换器；
3、反渗透＋EDI电去离子装置等阶段。“预处理+反渗透+EDI电去离子”整套除盐系统，有着其它处理系统无可比拟的优点，正被广泛应用于纯水、高纯水设备中。
本公司设计的反渗透RO+EDI高纯水设备系统将先进成熟的RO工艺和EDI工艺结合了起来，反渗透系统取代了传统的阳阴离子交换工艺，电除盐装置取代了传统的混合离子交换器，是无需化学药剂再生的纯水处理工艺。系统的回收率取决于进水的水质情况，EDI的回收率由浓水排放量进行控制。RO反渗透+EDI高纯水设备工艺流程：
RO+EDI是目前较为先进的高纯水制备工艺系统之一。反渗透RO+EDI高纯水设备出水水质符合美国ASTM标准、电子部超纯水水质标准。
